Vacuum Pump Filters

  • Plasma Etching System Oil mist filter 532917478
Plasma Etching System Oil mist filter 532917478

Plasma Etching System Oil mist filter 532917478

Plasma Etching System Oil mist filter 532917478

OD:72 mm

ID:35 mm

Length:140 mm

Suitable Busch vacuum pump model:

R5 / RA / RC 0021
R5 / RA / RC 0012
R5 / RA / RC 0012 B
KC 0025 D
R5 / RA / RC 0021 B
R5 0040 D
R5 0025 D
KB 0040 D

Equal oil mist filter number:

Busch      532510
Busch        532500510
Busch         53200051001
Busch         532000510
Busch         0532000510
Busch          0532127415
Busch          532917478
Busch          53251001
Fai Filtri          DCC-072132-01
Fluitek             FLK16-02313
GEV           637100050
HiFi FilterSI          41510
Mann-Filter / Mann & Hummel           4900054241
Mann-Filter / Mann & Hummel           4900055241
Mann-Filter / Mann & Hummel           LE 3009
Noitech           NS 006110
SF Filter          SAO55580
Sotras               DA 1061
Sotras             DA1061(xVUOTO)
T.G. Filter             1070132 PV
T.G. Filter             1070132PV
Tiger                  BU510 MFS


Inquiry

Scan the qr codeClose
the qr code