Plasma Etching System Oil mist filter 532917478

Plasma Etching System Oil mist filter 532917478

OD:72 mm

ID:35 mm

Length:140 mm

Suitable Busch vacuum pump model:

R5 / RA / RC 0021
R5 / RA / RC 0012
R5 / RA / RC 0012 B
KC 0025 D
R5 / RA / RC 0021 B
R5 0040 D
R5 0025 D
KB 0040 D

Equal oil mist filter number:

Busch      532510
Busch        532500510
Busch         53200051001
Busch         532000510
Busch         0532000510
Busch          0532127415
Busch          532917478
Busch          53251001
Fai Filtri          DCC-072132-01
Fluitek             FLK16-02313
GEV           637100050
HiFi FilterSI          41510
Mann-Filter / Mann & Hummel           4900054241
Mann-Filter / Mann & Hummel           4900055241
Mann-Filter / Mann & Hummel           LE 3009
Noitech           NS 006110
SF Filter          SAO55580
Sotras               DA 1061
Sotras             DA1061(xVUOTO)
T.G. Filter             1070132 PV
T.G. Filter             1070132PV
Tiger                  BU510 MFS